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ダイヤモンド成膜用
大面積HF-CVD装置　Model 650

― ダイヤモンドの物理特性をMEMS材料に生かしましょう！―

【　特 徴　】
スムースな成膜
● 機械的強度、面摩擦に優れている
　 　
コンピュータコントロール
● 用途に応じた粒径のダイヤ膜が可能
● 成膜制御を多彩に行える研究用途にも適する。
　 　
大面積化
● 300mm x 300mm　ウエーハ
● 立体形の試料への成膜も可能
　 　
ユニフォーミティ
● ±10 〜±20 %
　 　
安全性
● ソフトウエア/ハードウエアのインターロックによりプロセスガス、真空系、電気系を保護
　 　
信頼性
● MTBF 500時間以上
　 　
最新技術を集結
● 特許　5,833,753 5,997,650

Diamond Deposition Reactor Model 650

Model650 CVD装置でダイヤモンドの粒子サイズを制御して得られた膜

摺動部パーツ
（シール等）　

 　磨耗部パーツ

▼ マイクロ波プラズマCVD装置
▼ 熱フィラメントCVD装置
▼ ナノ・コンポジット・コーティングシステム

 

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