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BETHEL社
ベテル社は周期加熱をキーテクノロジーとして微小領域の熱物性測定ソリューションを提供します。産学官連携によって誕生したこれら製品は、熱物性測定で日本発の世界標準を目指します。 |
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光加熱式サーモリフレクタンス法
熱物性顕微鏡 TM３ |
| 薄膜、多層膜および微小領域の熱物性（熱浸透率）をスキャニング測定 |
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ＴＭ３ はサンプルの熱物性を点、線、面で測定することを可能とした、世界初の熱物性顕微鏡です（特許取得済）。レーザーフラッシュ法、3ω、2ω法では難しいと されていた、ミクロンオーダーでの熱物性値分布を非接触かつ精密に測定できるため、半導体電子デバイスや記録媒体などの業界で好評を博し、材料分野でも注 目を集めています。 |
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応用分野
| ・熱傾斜材料 |
・金属ガラス |
| ・熱電変換素子 |
・ダイヤモンド |
| ・超伝導材料 |
・SiC |
| ・太陽電池 |
・AlN |
| ・燃料電池 |
・宇宙航空材料 |
| ・耐熱コーティング |
・Low-K膜 |
| ・放熱シート |
・記録媒体ほか |
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定常法 |
レーザー
フラッシュ法 |
サーモリフレクタンス法
熱物性顕微鏡 TM３ |
周期加熱放射測温法
熱拡散率測定装置 TA |
| 測定時間 |
１ｈ〜１ｄ |
０.０１〜１sec |
０.１〜１０sec |
０.０１〜１sec |
| 分布測定 |
X |
X |
◎ |
○ |
| 薄膜の測定 |
X |
X |
◎ |
○ |
| 絶対値 |
◎ |
◎ |
○ |
◎ |
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画期的な方式が認められ数々の賞を受賞しています。
- 財団法人りそな中小企業振興財団「中小企業優秀新技術・新製品賞」(2003/4/9)
- 「日本機械学会関東支部賞（技術賞）」(2003/3/14)
- 茨城県「工業技術開発奨励賞」(2002/2/22)
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| 仕 様 |
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| 測定項目 |
熱浸透率、（熱拡散率、熱伝導率） |
| 測定モード |
熱物性分布測定(1次元・2次元・1点) |
| 測定対象膜厚 |
数百nm〜数十μm |
| 試料サイズ |
30mm×30mmX3mm以内 |
| 分布測定範囲 |
Ｘ＝±10mm、Ｙ＝±10mm |
| 検出スポット径 |
3μm |
| 精度 |
±10％（＠ステージ上温度24±1℃） |
| 加熱用レーザ |
830nm |
| 検出用レーザ |
655nm |
| オプション |
光学定盤、空調機、空調ブース、スパッタ装置 、加熱炉 |
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※性能及び外観は、改善のため予告なく変更することがあります。
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周期加熱放射測温法
熱拡散率測定装置 ＴＡ３ |
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有機フィルムからダイヤモンドまで熱拡散率を絶対値測定
サーモウェーブアナライザは非接触熱物性測定装置です。面内方向と膜厚方向で熱物性が異なる物質においても同時に熱物性を求めることができ、さらにサンプルのごく限られた面積を測定に用いるため、同一サンプル内で測定箇所による熱物性の違いも検出することが可能です。
高いサンプル形状の許容度と広いダイナミックレンジを持ち、複合材料からダイヤモンドまでこれ一台で測定可能です。 |
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熱浸透率、熱拡散率、熱伝導率は相互に変換可能
TAで測定される熱物性（熱拡散率）は計算により各種熱物性値に変換可能です。
既存データの活用にも便利です。
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| 仕 様 |
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| 測定項目 |
熱拡散率（熱伝導率、熱浸透率） |
| 測定方向 |
面内方向、膜厚方向 |
| 測定対象膜厚 |
10μm〜数mm（試料により異なる） |
| ダイナミックレンジ |
α：1〜数1000x10-6m2/s、λ：1〜数1000W/mK |
| 繰り返し精度 |
±5%未満 |
| 試料サイズ |
板状試料 φ20〜100mm |
| 使用温度範囲 |
室温（ヒーターステージオプションあり） |
| 電源 |
AC100 V |
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性能および概観は改善のため予告無く変更することがあります。 |
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熱伝播検査装置 TSI-1 |
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