真空・セミコン関連機器

SRS社マスフィルタのベースとなる四重極質量分析器です。
信頼性の高いデータ取得はもとより、フィラメント、エレクトロンマルチプライヤ（EM）の交換が容易な点などリーズナブルで高いメンテナンス性能にも定評があります。対象のマスレンジによりモデルの選択が可能です。

RGA100　RGA200　RGA300

マスレンジ	100、 200、300amu
分解能	1amu
ダイナミックレンジ	6 桁（シングルスキャン）
分圧	5x10-14Torr（EM差動時）
リアルタイム Windowsソフトウェア表示モード マススペクトル、リークディテクタ、真空度vs時間
マルチヘッドオペレーション
二次電子増倍管オプション（EM）
イオンカウンティング出力オプション
Ethernet アダプターオプション

クローズドタイプの四重極質量分析計です。
レスポンスが良くスパッタ装置などのオンラインプロセスの監視とコントロール、高真空残留ガスの分析及びプロセス機器のリークチェックなど、さまざまなアプリケーションに使用可能です。
検出限界 1ppm以上、mTorr圧力で直接サンプリングが可能。

CIS100　CIS200　CIS300

マスレンジ	100、 200、300amu
検出感度	1ppm(EM差動時）
動作圧力	10mTorr
ソフトウェアはRGAシリーズと共通
GPSと同期可能マルチヘッドオペレーション
GPSと同期可能RGA/CIS モード

RGAシリーズに差動排気ポンプシステムを組み合わせたプロセスガス分析システムです。
減圧用バイパスラインのマイクロオリフィスは0.01、0.1、１、10Torrの中からお選びいただけます。

PPR100　PPR200　PPR300

マスレンジ	100、 200、300amu
ダイナミックレンジ	6 桁（シングルスキャン）
測定圧力レンジ	10mTorr 〜 10Torr
フロー レート	3x10-5 Torr-L/s
レスポンス タイム	2sec.
ソフトウェアはRGAシリーズと共通

RGAシリーズ用の制御ユニットです。データ収集などで最大8台のRGAユニットをモニタリング可能です。
豊富なインターフェースでラック統合型システムに最適です。

PPM100　RGAコントローラ

大接続台数	8
アナログ出力	4チャンネル
数値分解能	仮数3桁＋指数
更新レート	2サンプル/秒
インターフェース	GPIB、USB、RS-232C、Ethernet

UGA/UGAHH/ULT　　真空・大気圧両用ガス分析装置

大気圧から超高真空まで広帯域測定レンジのガス分析装置です。
混合ガス・腐食性ガスのモニタリングや分析など多くのアプリケーションに対応します。
真空ポンプ内蔵型で可搬型とし、レース用エンジンや航空機エンジンの排気ガス分析、ロケットエンジン開発などにも使用されています。

マスレンジ	100、 200、300amu
レスポンスタイム	＜0.2sec
エレクトロンマルチプライヤー標準装備
検出限界	1ppm
ヒータジャケット内蔵
Windowsソフトウェア
高濃度水素雰囲気対応（オプション）

※写真はUGAシリーズ

QMS100　200　300　　大気圧ガス分析システム

RGAシリーズをベースに差動排気システムを組み込んだ大気圧ガス分析装置です。
マススペクトルは、オンラインのプロセス監視、ガス種、リーク検出、およびトラブルシューティングの分析を簡素化します。

マスレンジ	100、 200、300amu
分解能	1amu
ダイナミックレンジ	6 桁（シングルスキャン）
検出限界	1ppm
測定圧力レンジ	10mbar 〜 1bar
レスポンス タイム	1sec以下
ソフトウェアはRGAシリーズと共通
可搬式

IGC100　　イオンゲージコントローラ

高性能真空計制御ユニットです。
豊富なインターフェースオプションと大型液晶タッチパネルによりラックマウント型コントローラとして最適です。

測定範囲	1,000Torr〜UHV
表示	3桁+指数表示、温度vs圧力表示他
出力	アナログ電圧（4ch）
接続測定球	SRS社製品他

PG108U/GR/GW/NR/NW　ピラニゲージ・電離真空計

IGC100と組み合わせ可能なピラニゲージと測定球です。
1,000Torr〜2x10-11までレンジと用途にあわせてお選びいただけます。